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■近赤外CCDカメラ C3077-80 (浜松ホトニクス株式会社)


製品外観


【概 要】

近赤外領域に高い感度を持つCCDカメラです。当社CCD素子を採用し、近赤外の波長領域に高い感度を有しています。従来お使いいただいている当社近赤外用CCDカメラと寸法、出力仕様はそのままに、感度を向上させました。



【特 長】

近赤外領域で高感度
EIA出力


【主な用途】

●Siウェーハ/デバイス位置合わせ
●COG位置合わせ
●Siデバイス内部検査
●セラミック基板検査


【撮像例】

ICに赤外光を当てて内部パターンを撮像しました。(対物レンズ:50倍/1100 nmバンドパスフィルタ使用)



【システム構成図】




【仕 様】

型名 C3077-80
撮像素子 2/3型フレームトランスファCCD
有効画素数 648(H)×484(V)
画素サイズ 14 μm(H)×14 μm(V)
有効撮像エリア 9.0 mm(H)×6.8 mm(V)
レンズマウント Cマウント
信号方式 EIA-RS170A方式に準拠
水平/垂直周波数 15.734 kHz/59.94 Hz
トリガモード 内部/外部
外部同期信号 HD/VD(信号レベル:TTLレベル)
映像出力 1.0 Vp-p、負同期、75 Ω不平衡
アナログゲイン AGC/標準/可変
電源 DC+12 V
消費電力 約4.5 VA
保存周囲温度 -10 ℃〜+50 ℃
動作周囲温度 0 ℃〜+40 ℃
動作周囲湿度 70 %以下(ただし結露しないこと)


【分光感度特性】




【外形寸法図】




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