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■BT-CCDカメラ C8000-30 (浜松ホトニクス株式会社)


製品外観


【概 要】

C8000-30は、BT-CCD(背面照射型CCD)を採用することで、紫外域から可視・近赤外域に至る幅広い波長域にわたり高い量子効率(光電変換効率)を実現したCCDカメラです。120 nmからの高い紫外感度は、半導体マスク関連の観察・計測に有効です。
また、近赤外域での高い感度は、蛍光観察、近赤外LDの観察等にお使いいただけます。


【特 長】

紫外〜近赤外まで幅広い領域で高量子効率を実現:紫外域で60 %以上(200 nm)、可視域で90 %以上(650 nm)
リアルタイムバックグラウンド減算
リカーシブフィルタ搭載(2、4、8、16、32、64フレームで選択可能)


【原 理】

通常のCCDは、CCD駆動構造のある面(表面)から、光を入射します。光から電荷への変換は、素子内部の光電変換部において行われます。このため、入射する光がCCD駆動構造を透過する過程で吸収され、光電変換部に至ることになり、入射する光の一部しか光電変換されません。特に紫外光はほとんど光電変換部に到達できません。
これに対し、背面照射型CCDでは、CCD駆動構造のない面(背面)を物理的に削り、光電変換部へ直接光が入射するようにしています。CCDに入射する光を効率よく信号電荷に変換することができますので、広い波長域にわたり高い量子効率(光電変換効率)を実現しました。



【システム構成図】




【仕 様】

型名 C8000-30
撮像素子 2/3型背面照射フレームトランスファーCCD
有効画素数 640(H)×480(V)
画素サイズ 14 μm(H)×14 μm(V)
有効素子サイズ 8.96 mm(H)×6.72 mm(V)
飽和電荷量 30 000 electrons(typ.)
読み出し速度 31.4 フレーム/秒
読み出しノイズ 150 electrons(rms)(typ.)
露光時間 30.8 ms〜1 s
冷却方式 ペルチェ冷却+自然空冷
冷却温度 +5 ℃(周囲温度+20 ℃)
アナログゲイン 1倍〜5倍(16段階)
サブアレイ読み出し 8 画素単位(垂直)
カメラコントロール Camera Link
外部トリガモード エッジトリガ、レベルトリガ、スタートトリガ、読み出し同期トリガ
画像改善機能 バックグラウンド減算、リカーシブフィルタ
インターフェース Camera Link Base Configuration
A/Dコンバータ 12 bit
レンズマウント Cマウント
電源 DC+12 V
消費電力 約10 VA
動作周囲温度 0 ℃〜+40 ℃
性能保証温度 0 ℃〜+30 ℃
保存周囲温度 -10 ℃〜+50 ℃
動作周囲湿度 70 %以下(ただし結露しないこと)
保存周囲湿度 90 %以下(ただし結露しないこと)

読み出し速度

ビニング読み出し 1×1 2×2 4×4
読み出し速度(フレーム/秒) 31.4 58.3 101.8


【分光感度特性】




【外形寸法図】




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