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■X線ダイレクト型CCDカメラ C8000-30D (浜松ホトニクス株式会社)


製品外観


【概 要】

X線ダイレクト型CCDカメラは、シンチレータを使用せず、EUVや軟X線をCCDへダイレクトに入射して撮像するカメラです。CCDに高エネルギーの光を入射することにより、素子上で多くの電荷が発生するため、高感度な検出が可能です。
背面照射型CCDの採用により、20 eV〜10 keVまでのエネルギー範囲に対応します。


【用 途】

●X線顕微鏡
●X線分光法
●マイクロCT
●EUVリソグラフィ
●X線エネルギー分析


【撮像例】




【システム構成図】




【仕 様】

型名 C8000-30D
撮像素子 2/3型背面照射フレームトランスファーCCD
有効画素数 640(H)×480(V)
画素サイズ 14 μm(H)×14 μm(V)
有効素子サイズ 8.96 mm×6.72 mm
飽和電荷量 30 000 electrons
読み出し速度 31.4 フレーム/秒
読み出しノイズ 100 electrons(typ.)
冷却温度 +5 ℃(周囲温度:+20 ℃)
インターフェース Camera Link
A/Dコンバータ 12 bit


【分光感度特性】




【外形寸法図】




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