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■1x 4x テレセントリックレンズ VS-THV-SWIR シリーズ
（株式会社VSテクノロジー）
1"・1.1"対応テレセントリックレンズ
●
光学倍率1.0x/1.5x/2.0x/3.0x/4.0xラインナップ
●
1.0x、1.5x、2.0xは1"対応、3.0x、4.0xは1.1"対応
●
1000 〜1600nmの透過率を高めたレンズ
●
全機種可変絞り対応で被写界深度の調整が可能
【透過率グラフ】
Y:Transmittance(%) X:Wave Length (nm)
【比較画像（同被写体 / 同シャッタースピードにて撮像）】
※被写体：ウエハー
バックライトで撮影
VS-THV-SWIR
型式
光学倍率
WD(mm)
NA
同軸落射照明
マウント
VS-THV1-110CO/S-SWIR
1.0x
111.1
0.048
Built-in
C-Mount
VS-THV1.5-110CO/S-SWIR
1.5x
110.4
0.075
VS-THV2-110CO/S-SWIR
2.0x
110.4
0.100
VS-THV3-110CO/S-SWIR
3.0x
111.2
0.120
VS-THV4-110CO/S-SWIR
4.0x
110.4
0.130
■10x テレセントリックレンズ VS-TM-SWIRシリーズ
（株式会社VSテクノロジー）
2/3"対応光学倍率10xテレセントリックレンズ
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顕微鏡と同等の解像力
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Long WD設計でワークとレンズの間の照明系の自由度が高い
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900nm - 1500nmの透過率を高めたレンズ
VS-TM-SWIR
型式
光学倍率
WD(mm)
NA
同軸落射照明
マウント
VS-TM10-55CO-SWIR
10x
55.3mm
0.230
Built-in
C-Mount
【アプリケーション事例集】
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シリコンウエハのアライメント
膜厚測定装置における測定前のシリコンウエハアライメントにおいて選定されたレンズとは？
詳細はこちら >>
●
シリコンウエハ異物検査
シリコンウエハにかかれたパターン回路の異常、異物検査の精度を上げる為に選定された
レンズとは？
詳細はこちら >>
●
ICチップ内の検査
ICチップの樹脂を透過して内部の異物や気泡などを検査したい。
課題解決の為に選んだ製品とは？
詳細はこちら >>
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