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■VS-THV-SWIR シリーズ
(株式会社VSテクノロジー)


1"・SWIR 対応テレセントリックレンズ
製品外観


1”対応
光学倍率1.0x/1.5x/2.0x/3.0x/4.0xラインナップ
1000 〜1600nmの透過率を高めたレンズ
全機種可変絞り対応で被写界深度の調整が可能
3.0x、4.0xは1.1"対応


【透過率グラフ】

Y:Transmittance(%) X:Wave Length (nm)
透過率グラフ


【比較画像(同被写体 / 同シャッタースピードにて撮像)】

※被写体:ウエハー
バックライトで撮影
比較画像(同被写体 / 同シャッタースピードにて撮像)


【アプリケーション事例集】

シリコンウエハのアライメント
膜厚測定装置における測定前のシリコンウエハアライメントにおいて選定されたレンズとは?
詳細はこちら >>
シリコンウエハのアライメント
シリコンウエハ異物検査
シリコンウエハにかかれたパターン回路の異常、異物検査の精度を上げる為に選定された
レンズとは?
詳細はこちら >>
シリコンウエハ異物検査
ICチップ内の検査
ICチップの樹脂を透過して内部の異物や気泡などを検査したい。
課題解決の為に選んだ製品とは?
詳細はこちら >>
ICチップ内の検査
型式 WD O/I 光学倍率 センサーサイズ(Max.)
VS-THV1-110CO/S-SWIR 111.1mm 259.6mm 1.0x 1"
VS-THV1.5-110CO/S-SWIR 110.4mm 259.3mm 1.5x 1.1"
VS-THV2-110CO/S-SWIR 110.4mm 294.9mm 2.0x 1"
VS-THV3-110CO/S-SWIR 111.2mm 325.0mm 3.0x 1.1"
VS-THV4-110CO/S-SWIR 110.4mm 349.9mm 4.0x 1.1"


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