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■VS-TCM1-65CO/S-RIR
(株式会社VSテクノロジー)
近赤外対応フォーカスシフト補正
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可視光から1200nmまでの波長内でフォーカスシフトを補正し、照明の波長変更だけで表面検査と透過検査を切り替えて使える
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光学倍率1.0x
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600nm,1200nmの透過率を高めたレンズ
【撮像例 ウエハパターン】
VS-TCM1-65CO/S-RIRなら、照明波長を変えるだけで異なる検査ができる。
また、波長を変えてもピントが合ったまま撮像できる。
照明波長変更
×
フォーカスシフト補正
バックライト照明の波長を変えて撮像
アライメントマークがくっきり可視化できる
スポット照明の波長を変えて撮像
表面欠陥をくっきり可視化できる
型式
光学倍率
WD(mm)
NA
同軸落射照明
マウント
VS-TCM1-65CO/S-RIR
1.0x
65
0.067
Built-in
C-Mount
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