■VS-TCM1-65CO/S-RIR
（株式会社VSテクノロジー）


近赤外対応フォーカスシフト補正
製品外観


●可視光から1200nmまでの波長内でフォーカスシフトを補正し、照明の波長変更だけで表面検査と透過検査を切り替えて使える
●光学倍率1.0x
●600nm,1200nmの透過率を高めたレンズ


【撮像例　ウエハパターン】

VS-TCM1-65CO/S-RIRなら、照明波長を変えるだけで異なる検査ができる。
また、波長を変えてもピントが合ったまま撮像できる。
照明波長変更 × フォーカスシフト補正
バックライト照明の波長を変えて撮像
アライメントマークがくっきり可視化できる
バックライト照明の波長を変えて撮像
スポット照明の波長を変えて撮像
表面欠陥をくっきり可視化できる
バックライト照明の波長を変えて撮像
型式 光学倍率 WD(mm) NA 同軸落射照明 マウント
VS-TCM1-65CO/S-RIR 1.0x 65 0.067 Built-in C-Mount