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水晶振動子を用いたQCM
■ケミカルフィルターライフモニター HE-QCM-1
  (株式会社 ハロラン・エレクトロニクス)



半導体やLCDが製造されるクリーンルームは、パーティクルはもとより、酸、アルカリ、有機物等の化学汚染物質を嫌います。化学汚染物質を除去するためにケミカルフィルターが広く使われています。
しかし、フィルター入り口の空気の質は時々刻々変化し、それに伴ってフィルター出口の空気の質も変化します。
従って、フィルターの性能は徐々に劣化します。

製品外観 水晶の電極表面に化学汚染物質が吸着することによって生じる重量変化をリアルタイムでモニターして、空気の質の変化を連続的にモニター・監視することが可能になりました。

ケミカルフィルターの性能を常時把握し、寿命管理をすることを薦めます。これによってコストが削減できます。

お断り:QCM装置は不純物の同定は出来ません。微小量の不純物をモニターする為には温度、湿度を出来るだけ一定にしなければなりません。

お客様の要求に応じてご自由にお選びできるように、表面電極が銀(Ag)、金(Au)、シリコン(Si)、銅(Cu)センサーを用意しました。

QCMセンサーからQCMコントローラまでの距離を従来の20mから100mまで延長することが可能になりました。これによって、半径100mの領域の同時モニターが可能になりました。

データ比較例



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